潔凈室氣體管道的安裝要求
2023-01-31 17:08:25
高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義、要求嚴格遵守設(shè)計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。
潔凈室氣體管道安裝要求
1.外觀的檢查工作
(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴格設(shè)計要求選用，不得隨意更改或代換。
(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。
(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破裂。
(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:
1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。
2)無銹蝕、蝕斑等現(xiàn)象。
3)管子平直、圓滑，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。
4)管材內(nèi)表面的“粗糙度”是否符合設(shè)計要求，螺紋處密封、保護是否良好。
5)外購成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關(guān)等級證書和資質(zhì)證明。應(yīng)隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，必須符合設(shè)計要求。
6)檢查成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。
7)法蘭的密封面應(yīng)當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應(yīng)當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。
8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應(yīng)當質(zhì)地柔軟、無老化及分層現(xiàn)象，表面不得有折損、皺紋等現(xiàn)象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。
2.配管的準備工作
(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，下料時均不得采用氧、乙炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。
(2)管子切口應(yīng)當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。
(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應(yīng)當重新試壓。
(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應(yīng)在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設(shè)計要求。
(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應(yīng)當將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。
(6)氧氣管路的閥門、附件等，應(yīng)當嚴格禁油，并在安裝前按有關(guān)要求嚴格脫脂。
3.金屬管道的連接
(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:
1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。
2)銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如砷化鎵的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。
(2)連接方式:
1)焊接。高純、高潔凈氣體管道，原則上采用焊接，但不能直接對焊，應(yīng)采用套管接頭。
a不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊，同時管內(nèi)通入同等純度的氬氣，防止焊接部位氧化。
b鋼管的焊接:采用40%銀焊條，氮氣保護焊，管內(nèi)通入工藝氣體同等純度的氮氣。但要注意，一旦氮氣中斷或氮氣純度下降，會在焊口附近生成銅的氧化物，產(chǎn)生浸潤表面的可能性。所以，當銅管焊接完畢后，要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內(nèi)，消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。
2)螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好，不適用于高純、高潔凈氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險，而且內(nèi)外螺紋旋緊時，金屬間的摩擦會產(chǎn)生金屬粉塵粒子，污染氣體。如確實必要，應(yīng)在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時，在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊條，提高密封效果，盡可能減少金屬粉塵。
3)法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氯乙烯，為確保密封效果，在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材質(zhì)的選用原則應(yīng)與管材的選用原則一致。
2)在采用銅材的管路系統(tǒng)中，可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道附件;但在不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中，不容使用銅制材料的管道附件。